電子凈化車間(尤其是半導(dǎo)體、PCB等精密制造領(lǐng)域)的噪音控制需遵循嚴(yán)格的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，以確保生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定、設(shè)備正常運(yùn)行及人員健康。以下是關(guān)鍵的噪音控制行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及實(shí)施要點(diǎn)，具體就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!

　　一、國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

　　ISO 14644系列

　　適用范圍：潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境，包含對(duì)噪音水平的限制要求。

　　關(guān)鍵要求：

　　潔凈室噪音通常需控制在 65dB(A)以下(空態(tài)測(cè)試)。

　　對(duì)于高精密區(qū)域(如光刻區(qū))，推薦 ≤60dB(A)。

　　SEMI標(biāo)準(zhǔn)

　　SEMI S2/S8：針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的環(huán)境、健康與安全(EHS)要求，包含設(shè)備噪音限值。

　　SEMI F21：涉及分子污染(AMC)控制，間接影響噪音管理策略。

　　二、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

　　中國(guó)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB 50073)

　　噪音限值：

　　一般潔凈區(qū) ≤65dB(A)。

　　特殊工藝區(qū)(如微電子) ≤60dB(A)。

　　隔聲要求：圍護(hù)結(jié)構(gòu)隔聲量 ≥30dB。

　　《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB/T 50087)

　　關(guān)鍵指標(biāo)：

　　長(zhǎng)期暴露區(qū)域(8小時(shí)工作制) ≤85dB(A)，但潔凈車間通常要求更嚴(yán)格(≤65dB(A))。

　　高頻設(shè)備需進(jìn)行頻譜分析，避免共振噪音。

　　《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB 3096)

　　適用于廠界噪音控制，通常要求 晝間≤60dB(A)，夜間≤50dB(A)。

　　三、行業(yè)特殊要求

　　半導(dǎo)體潔凈車間

　　設(shè)備噪音：

　　空調(diào)系統(tǒng) ≤55dB(A)(FFU風(fēng)機(jī)需低噪音型)。

　　真空泵/空壓機(jī) ≤70dB(A)(需加隔音罩)。

　　工藝控制：避免沖擊噪音(如機(jī)械手動(dòng)作需緩啟動(dòng))。

　　PCB凈化車間

　　關(guān)鍵區(qū)域：

　　曝光區(qū) ≤60dB(A)(防微振需求)。

　　電鍍線 ≤70dB(A)(允許適當(dāng)放寬，但需隔音處理)。

　　四、噪音控制措施

　　設(shè)備選型與布局

　　優(yōu)先選擇低噪音設(shè)備(如變頻風(fēng)機(jī))。

　　高噪音設(shè)備(如空壓機(jī))集中布置，并遠(yuǎn)離敏感區(qū)。

　　隔音與吸音設(shè)計(jì)

　　墻體/天花板：采用巖棉夾芯彩鋼板(隔聲量≥25dB)。

　　地面：防靜電環(huán)氧地坪+橡膠減震墊(降低結(jié)構(gòu)傳聲)。

　　振動(dòng)控制

　　設(shè)備安裝隔振器(如彈簧減震支座)。

　　管道采用柔性連接(減少流體噪音)。

　　員工防護(hù)

　　噪音>65dB(A)區(qū)域需配備耳塞/耳罩。

　　定期進(jìn)行聽力保護(hù)培訓(xùn)。

　　五、檢測(cè)與合規(guī)

　　檢測(cè)方法

　　使用 聲級(jí)計(jì)(符合IEC 61672標(biāo)準(zhǔn))。

　　測(cè)量點(diǎn)位于 人耳高度(1.5m)，每100㎡至少3個(gè)測(cè)點(diǎn)。

　　驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

　　空態(tài)測(cè)試 ≤65dB(A)，動(dòng)態(tài)測(cè)試允許 ≤70dB(A)(需工藝確認(rèn))。

　　六、行業(yè)趨勢(shì)

　　智能降噪：采用AI實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)噪音，自動(dòng)調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速。

　　綠色標(biāo)準(zhǔn)：新增低頻噪音(<200Hz)限值，減少健康影響。

　　如需具體項(xiàng)目的噪音控制方案，建議參考 ISO 14644 和 GB 50073，或咨詢專業(yè)凈化工程公司。