
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
芯片凈化車間的層流罩氣體流向設計對于維持車間的潔凈度至關重要。一般來說,層流罩內的氣體流向應遵循以下原則,具體就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!
一、總體流向
在芯片凈化車間中,層流罩的氣體流向通常是從潔凈區向非潔凈區流動,以防止污染物進入潔凈區。這種設計可以確保車間內的空氣流動穩定,且能夠有效地將潔凈空氣送入工作區域,同時將污染空氣排出。
二、單向流潔凈室的氣體流向
許多芯片凈化車間采用單向流潔凈室設計,其層流罩的氣體流向具有以下特點:
1、垂直單向流:在這種設計中,氣體以一定的速度(如0.25~0.5m/s)從頂棚流向地坪。這種氣流能夠創造高潔凈級別(如100級、10級、1級或更高)的工作環境。氣體在流動過程中,將灰塵和污染物從一端向另一端擠壓出去,實現潔凈空氣的置換。
2、水平單向流:氣體以一定的速度(如0.3~0.5m/s)從一面墻流向對面墻。這種設計也能達到較高的潔凈級別(如100級)。水平單向流的氣體流向同樣遵循從潔凈區向非潔凈區流動的原則,確保工作區域的空氣潔凈度。
三、氣流組織的優化
為了確保層流罩內的氣體流向達到最佳效果,還需要對氣流組織進行優化。這包括合理布置送風口和回風口,以及確保送風口送出的潔凈空氣能夠均勻擴散到整個工作區域。同時,回風口應設置在能夠有效抽走污染空氣的位置,避免氣流短路和渦流現象的發生。
四、注意事項
1、排風系統設計:排風系統應負責將車間內產生的廢氣、污染物及多余熱量排出,同時保持車間內空氣流動的穩定性和潔凈度。設計時需考慮不同氣體類型的處理方式和設計策略,如酸性或堿性氣體需設置濕式洗氣吸收塔等處理裝置;有機氣體需配備活性炭吸附、催化燃燒等處理設備;粉塵則需采用高效除塵設備進行過濾處理。
2、壓差控制:凈化車間應維持一定的正壓或負壓,以防止外界污染空氣進入或內部污染空氣外泄。壓差控制可以通過調節送風量、回風量、排風量和漏風量來實現。
3、定期維護:層流罩及其相關設備需要定期進行清潔和維護,以確保其正常運行和達到預期的潔凈效果。
綜上所述,芯片凈化車間層流罩的氣體流向設計應遵循從潔凈區向非潔凈區流動的原則,并通過優化氣流組織、合理設計排風系統和壓差控制等方式來確保車間的潔凈度和空氣流動穩定性。