半導體領域潔凈車間測試解決方案

       潔凈室（Cleanroom）：空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應盡可能的減少室內滯留顆粒物。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力、靜電、振動、噪聲等按要求進行控制。——摘自GB50073-2013《潔凈廠房設計規范》實施日期2013年9月1日。

       為什么需要潔凈室：由于半導體工業所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機物等)，因為這些污染源可以造成元器件性能的劣化及產品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環境中進行，以盡量將污染源和硅片隔離。

       通常通過服裝，MAU，FFU及入口的風淋室等控制手段，可有效控制顆粒物的產生

1、AMC控制

       通常AMC系統包括，AMC過濾系統及AMC氣體品質監控系統兩部分組成，分別起到過濾和確認效果的作用

2、照度測試

       實時空氣品質監測系統對半導體業界而言，并不陌生?，F行模式大都以定點式監測器為主流，分布的范圍以正壓供氣端如氣瓶柜、氣體分流配置箱，以及特殊毒性氣體機臺通風櫥柜等。

       除此之外，廠內空氣流向同樣是監測器布點與泄漏搜尋時，相當重要的參考依據。比方說，外氣入口在空調層的潔凈室，其空氣流向通常如下圖所示，subfab區域受潔凈室作業影響最大，空調層受外氣影響較大。因此，在進氣口位置與subfab區域架設氣體監測器，可有效厘清潔凈室內空氣污染與外氣之間的關連性。再者，對于Fab與subfab間有回風區夾層的工廠，直接在制程區下方架設之氣體監測器，可立即反應制程區作業所造成的污染。而對于無回風區夾層的潔凈室，架設在Subfab區兩側之氣體監測器，可分區監測不同回風流場所代表的空氣品質狀況。因此，依據工廠的空調流場設計、監測目標，選擇適用之監測位置與氣體監測工具。

4、因文章篇幅原因不做更多詳細闡述，如您需要了解更多，請聯系合潔科技潔凈工程公司